仪器设备
实验室已经建设并形成了“精密量子输运”、“精密光学测量”、“扫描隧道显微学”、“材料生长与微器件加工”、“理论与计算模拟中心”和“超导技术研发中心”6个国际一流研究平台。
实验室拥有电子束曝光机、超低温扫描隧道显微镜、双频刻蚀系统、透射电子显微镜、低温超导真空显微镜、化学气相沉积系统、半自动纳米压印机、溅射镀膜系统、高灵敏度磁测量系统、超高分辨扫描电镜等价值超过200万人民币的大型仪器设备共计39台,50万以上大型仪器设备的总价值共计约2.7亿元人民币。
实验室重大设备(理科楼50万元以上)清单:
设备仪器 | 设备型号 | 价格(万元) | 是否对外开放 |
超低温扫描隧道显微镜 | USM-1300 | 958 | 否 |
低温扫描隧道显微镜 | LT-Scient R4000 | 819 | 否 |
超低温扫描隧道显微镜 | 1300S | 515 | 否 |
低温超导真空显微镜 | LT-STM-1 | 383 | 否 |
高灵敏度磁测量系统 | MPMS-XL7 | 268 | 是 |
核磁共振谱仪 | US400PLUS | 228 | 否 |
Nd-YAG激光器系统 | Pro-290 | 168 | 否 |
极低温强磁场环境系统 | S15/17/52/B | 164 | 否 |
扫描探针显微镜 | Nano ScopeⅢa | 148 | 是 |
综合物性测量系统 | PPMS-9 | 128 | 否 |
扫描探针显微镜 | E-SWEEP | 123 | 是 |
YAG激光器系统 | LAB-190-30H | 79 | 否 |
光电子离子成像谱仪 | 自制 | 71 | 否 |
快速成像OCT机 | 自制系统 | 54 | 是 |
氦再冷凝液化装置 | JA100 | 50 | 否 |
实验室重大设备(纳米中心50万元以上)清单:
设备仪器 | 设备型号 | 价格(万元) | 是否对外开放 |
电子束曝光机 | JBX-6300FS | 1501 | 否 |
双频刻蚀系统 | HeliconDFR | 674 | 否 |
透射电子显微镜 | TecnaiTF20 | 581 | 是 |
化学气相沉积系统 | L450PDFR | 340 | 否 |
半自动纳米压印机 | EVG520HE | 293 | 否 |
溅射镀膜系统 | L-332S-FHL | 286 | 否 |
超高分辨扫描电镜 | Sirion200 | 230 | 是 |
恒温恒湿净化系统 | DC-1 | 229 | 否 |
精密对位曝光系统 | EVG620 | 227 | 否 |
反应离子刻蚀系统 | L-451D-L(04001124) | 209 | 否 |
反应离子刻蚀系统 | L-451D-L(04001164) | 209 | 否 |
化学气相沉积系统 | L450P | 205 | 否 |
纳米沉积系统 | NANODEP-60 | 201 | 否 |
拉曼光谱仪 | LabRam-HR/VV | 189 | 否 |
蒸发镀膜系统 | L-400EK | 171 | 否 |
制冷系统 | CHWS22-240H | 152 | 否 |
拉曼光谱仪 | RM1000 | 145 | 是 |
原子力扫描探针显微镜 | SPA-300HV | 135 | 是 |
高级匀胶系统 | EVG101C | 133 | 否 |
气体监测系统 | VH-2-1(8) | 131 | 否 |
扫描探针显微镜 | Nanoscope5 | 129 | 否 |
单管LPCVD系统 | 定制 | 125 | 否 |
衬底和掩膜清洗系统 | EVG301 | 117 | 否 |
晶体分析仪 | D/max-2500/PC | 114 | 是 |
掺钛蓝宝石飞秒 | 3941-S3S | 110 | 是 |
扫描探针显微镜 | MULTIMODE-SYS | 99 | 否 |
网络分析仪 | N5230C | 97 | 否 |
ICCD快速荧光成像系统 | IPentaMAX-512EFT | 96 | 是 |
全自动离子束刻蚀机 | MIBE-150B | 96 | 否 |
准分子激光器 | LPX 3051 | 94 | 否 |
清洗系统 | SolventStrip | 91 | 否 |
刻蚀系统 | OxideEtch | 91 | 否 |
刻蚀系统 | NitrideEtch | 91 | 否 |
刻蚀系统 | MetalEtch | 91 | 否 |
清洗系统 | RCAPre | 91 | 否 |
光谱式椭偏仪 | SOPRAGES5 | 91 | 是 |
特殊气体控制系统 | GasCabinet | 85 | 否 |
电阻加热炉 | 定制 (0400773) | 82 | 否 |
近红外光谱仪 | N17E-NIR | 81 | 否 |
电阻加热炉 | 定制 (0400773) | 80 | 否 |
电阻加热炉 | 定制 (0400774) | 80 | 否 |
电阻加热炉 | 定制 (04001158) | 80 | 否 |
电阻加热炉 | 定制 (04001159) | 80 | 否 |
光学运动捕捉系统 | PPTX4 | 74 | 否 |
高级显影系统 | EVG101D | 70 | 否 |
原子层沉积系统 | ALD-P-100B | 70 | 否 |
探针台 | RF-1 | 67 | 否 |
分光光度计 | LAMBDA950 | 62 | 否 |
综合热分析仪 | STA449C | 60 | 否 |
微力试验机 | Instron5848 | 55 | 否 |
质谱分析仪 | QMS403C | 54 | 否 |