仪器设备

       实验室建设了“精密量子输运”、“精密光学测量”、“扫描隧道显微学”、“材料生长与微器件加工”、“理论与计算模拟中心”和“超导技术研发中心”6个研究平台。

       实验室拥有电子束曝光机、超低温扫描隧道显微镜、低温扫描隧道显微镜、双频刻蚀系统、透射电子显微镜、低温超导真空显微镜、化学气相沉积系统、半自动纳米压印机、溅射镀膜系统、高灵敏度磁测量系统、超高分辨扫描电镜等价值超过200万人民币的大型仪器设备19台。实验室50万以上大型仪器设备的总价值近1.5亿元人民币。

实验室重大设备(理科楼50万元以上)清单:

设备仪器 设备型号 价格(万元) 是否对外开放
超低温扫描隧道显微镜 USM-1300 958
低温扫描隧道显微镜 LT-Scient R4000 819
超低温扫描隧道显微镜 1300S 515
低温超导真空显微镜 LT-STM-1 383
高灵敏度磁测量系统 MPMS-XL7 268
核磁共振谱仪 US400PLUS 228
Nd-YAG激光器系统 Pro-290 168
极低温强磁场环境系统 S15/17/52/B 164
扫描探针显微镜 Nano ScopeⅢa 148
综合物性测量系统 PPMS-9 128
扫描探针显微镜 E-SWEEP 123
YAG激光器系统 LAB-190-30H 79
光电子离子成像谱仪 自制 71
快速成像OCT机 自制系统 54
氦再冷凝液化装置 JA100 50

 

实验室重大设备(纳米中心50万元以上)清单:

设备仪器 设备型号 价格(万元) 是否对外开放
电子束曝光机 JBX-6300FS 1501 
双频刻蚀系统 HeliconDFR 674 
透射电子显微镜 TecnaiTF20 581
化学气相沉积系统 L450PDFR 340
半自动纳米压印机 EVG520HE 293
溅射镀膜系统 L-332S-FHL 286
超高分辨扫描电镜 Sirion200 230
恒温恒湿净化系统 DC-1 229
精密对位曝光系统 EVG620 227
反应离子刻蚀系统 L-451D-L(04001124) 209
反应离子刻蚀系统 L-451D-L(04001164) 209
化学气相沉积系统 L450P 205
纳米沉积系统 NANODEP-60 201
拉曼光谱仪 LabRam-HR/VV 189
蒸发镀膜系统 L-400EK 171
制冷系统 CHWS22-240H 152
拉曼光谱仪 RM1000 145
原子力扫描探针显微镜 SPA-300HV 135
高级匀胶系统 EVG101C 133
气体监测系统 VH-2-1(8) 131
扫描探针显微镜 Nanoscope5 129
单管LPCVD系统 定制 125
衬底和掩膜清洗系统 EVG301 117
晶体分析仪 D/max-2500/PC 114
掺钛蓝宝石飞秒 3941-S3S 110
扫描探针显微镜 MULTIMODE-SYS 99
网络分析仪 N5230C 97
ICCD快速荧光成像系统 IPentaMAX-512EFT 96
全自动离子束刻蚀机 MIBE-150B 96
准分子激光器 LPX 3051 94
清洗系统 SolventStrip 91
刻蚀系统 OxideEtch 91
刻蚀系统 NitrideEtch 91
刻蚀系统 MetalEtch 91
清洗系统 RCAPre 91
光谱式椭偏仪 SOPRAGES5 91
特殊气体控制系统 GasCabinet 85
电阻加热炉 定制 (0400773) 82
近红外光谱仪 N17E-NIR 81
电阻加热炉 定制 (0400773) 80
电阻加热炉 定制 (0400774) 80
电阻加热炉 定制 (04001158) 80
电阻加热炉 定制 (04001159) 80
光学运动捕捉系统 PPTX4 74
高级显影系统 EVG101D 70
原子层沉积系统 ALD-P-100B 70
探针台 RF-1 67
分光光度计 LAMBDA950 62
综合热分析仪 STA449C 60
微力试验机 Instron5848 55
质谱分析仪 QMS403C 54